
Данное изделие представляет собой прецизионную деталь из титанового сплава. Конструктивно она выполнена в форме круглого диска с квадратным пазом и сквозным отверстием в центральной зоне, по окружности равномерно расположены круглые бобышки с резьбовыми отверстиями.
Данное изделие представляет собой прецизионную деталь из титанового сплава. Конструктивно она выполнена в форме круглого диска с квадратным пазом и сквозным отверстием в центральной зоне, по окружности равномерно расположены круглые бобышки с резьбовыми отверстиями. Компоновка изделия указывает на его предназначение для много позиционной фиксации или распределения потоков жидкости и широко применяется в полупроводниковом оборудовании, аэрокосмической отрасли и высокотехнологичном промышленном оборудовании.
Подобные детали изготавливаются преимущественно из высокопрочных и коррозионностойких α+β-двухфазных титановых сплавов, таких как TC4 (Ti-6Al-4V), которые отличаются высоким удельным показателем прочности, термостойкостью и устойчивостью к воздействию хлорид-ионов, что позволяет им сохранять работоспособность в течение длительного времени при температурах 450–500 °C. Внутренние каналы проходят прецизионную механическую обработку и полировку, что гарантирует отсутствие застойных зон и турбулентности потока охлаждающей жидкости, предотвращая локальный перегрев или деградацию материала. В высокоточном оборудовании, например в литографических установках, охлаждающая плита непосредственно контактирует с рабочим столом или оптической системой, обеспечивая высокоточный температурный контроль с точностью ±0,1 °C, что необходимо для достижения нанометровой точности совмещения при экспонировании топологических рисунков.