
Данное изделие представляет собой микроканальную охлаждающую плиту (микроканальный холодный пластинчатый теплообменник) из титанового сплава, являющуюся ключевым компонентом высокоточных систем теплоотвода.
Данное изделие представляет собой микроканальную охлаждающую плиту (микроканальный холодный пластинчатый теплообменник) из титанового сплава, являющуюся ключевым компонентом высокоточных систем теплоотвода. Изделие предназначено для терморегулирования в оборудовании для производства полупроводников (например, литографические установки, установки плазмохимического травления) или в высокомощных электронных устройствах. Деталь имеет форму неправильного квадрата, по краям расположены монтажные отверстия и установочные штифты, внутренняя структура содержит разветвлённую систему каналов для циркуляции охлаждающей жидкости с целью обеспечения эффективного теплообмена.
Подобные охлаждающие плиты изготавливаются преимущественно из высокопрочных и коррозионностойких α+β-двухфазных титановых сплавов, таких как TC4 (Ti-6Al-4V), которые отличаются высоким удельным показателем прочности, термостойкостью и устойчивостью к воздействию хлорид-ионов, что позволяет им сохранять работоспособность в течение длительного времени при температурах 450–500 °C. Внутренние каналы проходят прецизионную механическую обработку и полировку, что гарантирует отсутствие застойных зон и турбулентности потока охлаждающей жидкости, предотвращая локальный перегрев или деградацию материала. В высокоточном оборудовании, например в литографических установках, охлаждающая плита непосредственно контактирует с рабочим столом или оптической системой, обеспечивая высокоточный температурный контроль с точностью ±0,1 °C, что необходимо для достижения нанометровой точности совмещения при экспонировании топологических рисунков.